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摘要
利用COMSOL软件建立简化的分析模型，对支撑柱型电容式超声传感器(CMUT)模型进行有限元分析，并将其与圆形空腔CMUT模型进行对比。结果表明，支撑柱型CMUT模型的共振频率为10 kHz,塌陷电压为52 V,有利于进行低频化设计。与圆形空腔CMUT模型相比，支撑柱型CMUT模型的有效面积较大，寄生电容较少，器件的灵敏度较高，塌陷电压较低，振膜的振幅较大，工作时发出的声信号较弱。
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单位武汉理工大学; 现代汽车零部件技术湖北省重点实验室
