微谐振传感器同频干扰的建模与消除

作者：陈健; 陈德勇; 王军波; 杨苗苗; 毋正伟; 陈李

来源：测控技术, 2006, (08): 5-6+10.

DOI：10.19708/j.ckjs.2006.08.002

• 微机械电子系统
• 微谐振式传感器
• 同频干扰
• 双端激励/差分检测 MEMS
• resonant microsensor
• disturbance of the same frequency
• double-side excitation and differential detection

主要研究了静电激励/电容拾振谐振式硅微加速度传感器的同频干扰问题,分析了几种干扰源,建立了同频干扰的电路等效模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,采用二次差分的方式消除同频干扰。

• 单位
  传感技术国家重点实验室