摘要

对美国Thermo Fisher Scientific公司(原FEI公司)Tecnai 12透射电镜测角台3例故障的原因和维修方法进行了分析,主要介绍了电镜使用中测角台硬件CompuStage最常出现的Tracking error Y故障,通常由测量尺超限、Y轴马达阻力过大或者Y轴马达垫片磨损造成,通过压按测量尺弹回、调换Y轴和X轴马达位置、更换Y轴马达垫片可以解决该故障。

  • 单位
    中山大学中山医学院