基于相空间方法的电子轰击离子源参数对其性能影响的研究

作者：黄超; 赵学; 张建超; 汪曣

来源：真空科学与技术学报, 2011, 31(02): 169-173.

• 电子轰击离子源
• 相空间
• SIMION模拟
• 性能 Electron impact ion source
• Phase space
• SIMION simulation
• Performance

本文首先利用离子光学模拟软件SIMION7.0,对自制的电子轰击离子源(EI)进行模拟试验,获得离子在EI内的运动参数,包括位置、速度。随后,利用相空间方法,分析EI各参数对其性能的影响,包括各电极电压对聚焦效果以及出射速度分散程度的影响,并最终获得EI各参数对离子源发射度的影响。本文的研究能够指导EI的理论设计,使其参数得到最优化,从而改善EI的性能,以实现EI与质量分析器最佳连接。

• 单位
  天津大学; 电子工程学院