晶体院山东公司大尺寸、大厚度CVD ZnS晶体生长取得新突破

来源：人工晶体学报, 2023, 52(12): 2235.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2023.12.007

<正>近期，中材人工晶体研究院(山东)有限公司(简称晶体院山东公司)红外产业部在大尺寸、大厚度化学气相沉积硫化锌(CVD ZnS)晶体生长技术领域取得重要突破。他们利用大型 CVD ZnS 生长装备，克服了反应气体流型不均匀带来的材料质量下降、沉积主气路系统堵塞、超长时间生长系统不稳定和工艺不稳定等一系列难题，生长出长2 m、宽1 m、厚35 mm的红外级硫化锌多晶材料(见图1)。