本发明公开了一种SPM动态自调整滑动窗口采样的扫描测量方法,其步骤包括：1初始化滑动窗口采样方法的扫描参数,2计算滑动窗口内的数据方差,3根据前一步的计算结果进行扫描参数的动态自调整,4根据调整后的参数扫描下一个点,5滑动窗口,6完成一行扫描,7按照上述扫描方式完成整体扫描。本发明能实现SPM等间距逐行逐点扫描速度的提高,同时通过动态自调整步进值和速度实现测量点合理分布的目的,从而提高了扫描图像的质量,对扫描探针显微镜的技术具有一定的理论意义和实用价值。
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