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摘要
本发明公开了一种二维层状材料样品电学测试微电极的制备方法,包括以下步骤：提供一硅片,硅片上分布单层或者少层的二维材料,通过原子力显微镜(AFM)定位一单层或者少层的待测二维层状样品,通过激光标记(Laser mark)在该二维层状样品附近做好标记。使用FIB辅助电子束沉积法在样品表面沉积了约5-10nm的氧化硅对样品中心区域进行一定的保护；本方法中电子束和离子束的对中在激光标记处进行,然后在弱电子束下将样品移动到屏幕区域,切换到离子束下对样品四个角进行离子束辅助金属微电极的沉积。最后通过蒸镀沉积金属电极的方法从微电极处引出大电极,该方法可以推广应用于小样品的电学性能测试。
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