摘要

通常的太赫兹微结构主要采用Au薄膜制备金属结构,很难利用微结构中Au薄膜性能对太赫兹波进行实时调控。本文设计并制备了基于高磁导率软磁FeNHf薄膜的太赫兹开口三角形结构,通过外磁场调控微结构中软磁薄膜磁化强度方向,系统研究了外磁场调控下微结构中的太赫兹波传输特性和电磁共振模式。软磁Fe NHf薄膜具有磁各向异性的特点,外磁场可以调控磁化强度M方向分别垂直和平行于太赫兹波磁场的方向,采用太赫兹时域光谱系统测试微结构的太赫兹透射特性,通过时域有限差分的方法,分析了基于软磁薄膜微结构的太赫兹场电磁场分布和调制机理。实验结果表明,外磁场可调控开口三角形太赫兹微结构的谐振频率,在1.3THz频段,调谐率约为5.7%,调制深度约为15%。