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现代芯片制造技术的展望
作者:余泽健
来源:
集成电路应用
, 2021, 38(01): 4-5.
DOI:10.19339/j.issn.1674-2583.2021.01.002
集成电路制造
芯片
晶圆制造
摘要
分析我国芯片行业发展现状、制造技术发展现状,现代芯片制造工艺流程,包括晶圆加工制造、芯片前期加工、芯片后期封装,阐述现代芯片制造技术的展望。
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