40CrNi2MoA合金钢阴极电弧等离子沉积TiN/TiAlN薄膜及其性能

作者：邓玉娟; 叶剑刚; 祝惠一; 魏小华

来源：电镀与涂饰, 2022, 41(19): 1351-1355.

DOI：10.19289/j.1004-227x.2022.19.002

• 合金钢
• 阴极电弧等离子体沉积
• 氮化钛
• 氮化铝钛
• 耐磨性
• 耐蚀性

以40CrNi2MoA钢作为基体，通过阴极电弧等离子体沉积(CPAD)技术制备了TiN、TiAlN和TiN/TiAlN薄膜。通过扫描电镜、X射线衍射仪、纳米压痕仪、原子力显微镜、摩擦磨损试验、洛氏硬度计和电化学分析，对比了3种薄膜的组织结构、纳米硬度、表面粗糙度、耐磨性、附着力和耐蚀性。结果表明，TiN/TiAlN双层膜的综合性能最佳，其附着力为HF1级，摩擦因数为0.455，纳米硬度为36.59GPa，表面粗糙度(Ra)为0.09μm。

• 单位
  机电工程学院; 衢州职业技术学院; 重庆大学