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摘要
振动会使高精度面形测量产生误差。建立了振动对干涉测量面形的误差模型,应用13步移相算法分析了在振幅为63nm时的误差情况。分析结果表明,当面形测量误差的敏感频率为12Hz时,振动引起的面形均方根(RMS)误差约为12nm。通过实验进行了验证,仿真分析结果和实验结果基本相同。实验分析了在12Hz时,振幅为5～63nm时,对应的测量面形RMS误差为1～7.1nm,振幅和RMS误差线性增大。为不同振动频率和振幅引起的面形RMS的误差分析和高精度面形测量的振动环境控制提供了一定的参考。
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单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室
