基于机器视觉的晶圆裸片计数方法

作者：田齐; 张令

来源：传感器与微系统, 2018, 37(10): 41-43.

DOI：10.13873/j.1000-9787(2018)10-0041-03

• 机器视觉
• Sobel算子
• 晶圆裸片
• 随机抽样一致性算法

在半导体加工行业,为了解决人工计算晶圆裸片数量速度慢、劳动强度大等问题,提出了一种基于机器视觉的晶圆裸片自动计数方法:使用Sobel算子对晶圆图像进行边缘检测;通过行扫描和随机抽样一致性(RANSAC)算法对晶圆进行定位;采用改进的RANSAC算法进行切割线的粗拟合;切割线的精确拟合,并利用切割线的交点信息计算晶圆裸片的数量。实验结果表明:对于晶圆裸片的自动计数,提出的方法稳定性好,拥有良好的效率和精度,具有很好的实用价值。

• 单位
  机电工程学院; 江苏信息职业技术学院