微米级光栅样片的研制及关键质量参数的评价

作者：赵琳; 刘庆纲; 梁法国; 李锁印; 许晓青; 赵革艳; 赵新宇; 翟玉卫

来源：微纳电子技术, 2015, 52(08): 537-541.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2015.08.011

• 光栅样片
• 扫描电子显微镜(SEM)
• 质量参数
• 直线度
• 均匀性

论述了扫描电子显微镜(SEM)应用的广泛性以及光栅样片用于校准扫描电子显微镜的重要性,从选材、图形设计及加工制作等几个方面设计并研制了微米级光栅样片。为方便校准扫描电子显微镜的不同放大倍率,采用分区域图形设计方法将7个不同尺寸的样片结构分布在同一模板上。设计了对样片的关键质量参数(如栅条的直线度及均匀性)的评价方法,并对已试制的光栅样片的栅条宽度、直线度以及均匀性进行了测量。以周期尺寸为2和10μm的样片为例,分析了样片关键质量参数的测量数据。分析结果表明,研制的样片符合作为校准扫描电子显微镜的标准样片的基本条件。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所; 天津大学; 电子工程学院