一种三电极结构的湿度传感器芯片

作者：尹海宏; 赵晨媛; 王志亮; 宋长青; 施天宇; 印川

来源：2020-01-07, 中国, ZL202010011995.7.

本发明揭示了一种三电极结构的湿度传感器芯片,该湿度传感器芯片包括湿度敏感模块、测量电路模块、微处理单元MCU；湿度敏感模块包括湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极；湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极构成三电极结构的湿度敏感型电容--电阻复合结构；第一电极、湿度敏感材料、衬底、第三电极构成电容器结构,湿度敏感材料、衬底为电容器的复合介电层；第二电极、湿度敏感材料、衬底、第三电极也构成电容器结构,湿度敏感材料、衬底为电容器的介电层；第一电极、湿度敏感材料、第二电极构成湿度敏感电阻(湿敏电阻)结构,湿度敏感材料作为湿度敏感电阻(湿敏电阻)的湿度敏感材料；所述衬底是具备压电效应的晶体材料。

• 单位
  南通大学