摘要

介绍具有防微振要求的电子洁净厂房的结构设计,介绍了实际工程的防微振结构体系,对高等级净化厂房中采用的两种不同的楼盖形式——华夫板和井字梁在实际工程中的适用性、经济性进行对比。电子高端制造业是电子工业化发展的高级阶段,其显著的特点是生产工艺的技术含量高,生产线自动化、精密化,生产过程无人化,用于生产的精密设备和仪器具有严格的微振动控制要求,结构设计应建立一个相应的防微振结构体系。