为实现对蓝宝石衬底表面加工质量的分析评定，搭建了一套蓝宝石衬底表面微观形貌检测和评定的系统。借助光学小景深显微图像采集数据，通过改进的拉普拉斯算子进行序列图像融合，恢复图像的三维形貌，为获取精确的三维形貌，对图像进行高斯插值。为有效提取表面粗糙度参数，采用最小二乘法确定评定基准面，最后获取三维粗糙度评价参数Sa、Sq、Ssk、Sku。
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