液晶盒厚的均一性研究

作者：王兴明^*; 杨军; 黄中浩; 蔡鹏; 王纯杰; 张灿; 王鑫; 李官正

来源：光电子技术, 2022, 42(04): 318-324.

DOI：10.19453/j.cnki.1005-488x.2022.04.012

• 液晶盒厚
• 均一性
• 段差
• 有机膜
• 平坦层
• 隔垫层

根据液晶量的计算模型进行了理论模拟，基于模拟结果对各因子进行实验设计，并在实际生产中对提升盒厚均一性的方案进行了验证。实验结果表明，影响液晶盒厚均一性的关键因子是隔垫层、像素间段差和阵列基板侧段差，对盒厚工程能力指数的影响分别为0.9、0.8和0.6。在阵列基板侧使用有机膜可以将盒厚的工程能力指数提升0.6，采用交叉隔垫层可以将盒厚的工程能力指数提升0.9。降低彩膜侧段差最有效的方法是导入平坦层进行平坦化，高平坦性材料和普通材料的平坦层可分别将盒厚的工程能力指数提升0.5和0.2。