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摘要
硒化锌多面反射棱镜是滚仰式长波红外导引头光学系统的重要组成部件，其精度直接影响光学系统成像质量。针对棱镜多面体结构及多晶硒化锌材料特点，提出单点金刚石飞刀车削的精密加工方案。对反射棱镜各面位置关系建立数学模型，设计专用工装保证一次装夹加工成型，对车削加工路径进行了仿真。通过实验得到了飞刀车削主轴转速、切削深度、进给速度等参数对硒化锌材料表面质量的影响。最终加工获得的反射棱镜角度误差为12″，面形误差PV:0.13λ，RMS:0.02λ，表面粗糙度Ra:7.39 nm，表面疵病等级：Ⅴ。结果满足设计要求，验证了飞刀车削法精密加工ZnSe多面反射棱镜的工艺方法。
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单位中国科学院; 中国科学院福建物质结构研究所
