摘要

本发明公开了一种基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器及其制备方法,包括基底材料预处理;离电传感电极制备,制备化学导电材料,化学导电悬浮液喷涂于基材表面,通过纳秒激光雕刻图案化制备,得到图案化的离电传感电极;将弹性体粉末加入到溶剂中,在预设温度下搅拌,加入离子液体,升温度搅拌混合均匀,得到混合溶液;将混合溶液以固定的转速旋涂于离电传感电极表面,加热固化成膜,得到离电膜;将图案化的离电传感电极封装于离电膜上下表面,上电极层与下电极层的多条蛇形阵列电极相互垂直。本发明解决了目前电容式传感器灵敏度低、响应时间长等问题,该传感器响应时间快、线性度好,可广泛使用在柔性可穿戴电子设备。