具有初始构型的MEMS驱动器的跳跃和吸合现象研究

作者：胡育佳; 朱媛媛; 程昌钧

来源：固体力学学报, 2013, (02): 109-116.

DOI：10.19636/j.cnki.cjsm42-1250/o3.2013.02.001

• 微电力学特性
• 大变形
• 曲梁
• 跳跃
• 吸合 micro-electromechanical behavior
• large deformation
• curved beam
• snap-through
• pull-in

在曲梁变形后以弧长为参数的自然坐标系中,利用曲梁大变形分析理论,建立了具有任意初始构型的微电驱动器大变形电动力学分析的数学模型,并采用微分求积法(DQM)进行空间离散,得到了一组具有强非线性的微分-代数系统方程,运用Petzold-Gear BDF方法进行时间域内的求解.研究了MEMS驱动器在电场力作用下的瞬态动力学特性,包括跳跃(snap-through)和吸合(pull-in)现象,并与已有实验结果进行了比较.

• 单位
  上海大学; 上海理工大学; 上海师范大学; 上海市应用数学和力学研究所