含氟电子气体纯化方法探讨与展望

作者：齐仲龙; 杨会娥; 任昊; 马立博

来源：有机氟工业, 2018, (01): 32-35.

• 含氟电子气体
• 纯化
• 低温精馏
• 吸附

电子气体是现代化电子工业发展的重要生产原料,随着电子工业的高速发展,对电子气体的纯度要求也越来越高。较为详细地论述了低温精馏、吸附、膜分离等方法在含氟电子气体制备方面的应用,并对其发展趋势进行展望。

• 单位
  中化近代环保化工（西安）有限公司