沟槽电极型声表面波耐高温谐振器的制备

作者：张启轮; 单清川; 李桦林; 骆伟; 史汝川; 郝文昌; 尹玉刚; 韩韬^*

来源：压电与声光, 2022, 44(02): 175-179.

• 声表面波(SAW)
• 硅酸镓镧(LGS)
• 沟槽电极
• 高温
• Pt电极

声表面波(SAW)传感器在高温环境的需求日益增多，硅酸镓镧因为具有良好的高温特性而提供了耐高温压电基底，但是电极在高温条件下会发生团聚而失效。该文设计了一种沟槽电极结构的耐高温SAW谐振器，采用Pt作为电极，硅酸镓镧作为压电基底，并提出了沟槽结构叉指电极的制造工艺，对沟槽结构的形貌进行了表征。通过提高沉积温度改善Pt电极质量，最终制备的波长8μm、沟槽电极厚240 nm的谐振器在1 000℃下可稳定工作。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所; 上海交通大学; 北京遥测技术研究所