纳米复合Ti-B-N薄膜的结构和摩擦学性能

作者：马大衍; 马胜利; 徐可为; 刘维民; S.Veprek

来源：稀有金属材料与工程, 2005, (10): 89-92.

• PCVD
• Ti-B-N薄膜
• 硬度
• 耐磨性 PCVD
• Ti-B-N coatings
• hardness
• wear-resistance

研究了射频等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术获得的Ti-B-N薄膜的组织结构和力学性能。结果发现,B元素的加入使薄膜中出现TiN纳米晶和BN非晶(nc-TiN/a-BN)的复合结构,其硬度显著高于TiN薄膜,最高可达40GPa。用球盘式摩擦磨损实验考察了薄膜的磨损特性。结果表明:与TiN薄膜相比,Ti-B-N薄膜抗磨损性能有显著提高,磨损机制与TiN薄膜不同,摩擦系数较TiN稍高。

• 单位
  中国科学院兰州化学物理研究所; 固体润滑国家重点实验室; 西安交通大学; 慕尼黑工业大学; 金属材料强度国家重点实验室