850nm大功率垂直腔面发射激光器

作者：史晶晶; 田振华; 秦莉; 张岩; 王贞福; 梁雪梅; 杨晔; 宁永强; 刘云; 王立军

来源：光电子-激光, 2010, 21(10): 1445-1448.

DOI：10.16136/j.joel.2010.10.011

• 激光器
• 高功率
• 非闭合
• 850nm lasers
• high power
• non-closed
• 850 nm

针对传统顶发射垂直腔面发射激光器(VCSEL)的散热、电极生长以及Au丝引线等难题,研究了一种非闭合型的大功率VCSEL结构,不仅解决了上述问题,还简化了工艺步骤,避免了一些工艺对已形成器件结构造成的损伤,提高了激光器的可靠性以及电流注入效率。利用该结构制作的激光器室温下连续输出最大功率达到46 mW,激射波长为849.5 nm,激射光谱半高宽(FWHM)为0.6 nm;在150 mA的注入电流下,发散角为10°。在室温5、0μs脉冲条件下,测得的最高输出光功率为69 mW。

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 中国科学院研究生院