K掺杂量对K-N共掺ZnO薄膜光学性能的影响

作者：王玉新; 臧谷丹; 陈苗苗; 崔潇文; 赵帅; 王磊; 李真; 阎堃

来源：辽宁师范大学学报(自然科学版), 2018, 41(04): 470-475.

• ZnO薄膜
• 超声喷雾热解法
• K-N共掺
• 表面形貌
• 光学性能

利用超声喷雾热解法在石英玻璃衬底上制备不同K掺杂量的K-N共掺ZnO薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、光致发光谱(PL谱)和紫外-可见分光光度计对K-N共掺ZnO薄膜的晶体结构、表面形貌及光学性能进行表征.结果表明:K-N共掺ZnO薄膜为六方纤锌矿结构并沿(002)方向择优生长;随着K掺杂量的增加,薄膜紫外发射峰的强度先升高后降低,并且吸收边出现轻微蓝移,禁带宽度增大;K-N共掺ZnO薄膜的透过率随K的掺杂量的增加先升高后降低,在65%～70%之间浮动.当K掺杂原子比为0.025时,所制备的薄膜具有高度的c轴择优取向,其薄膜表面均匀、光滑平整,具有较好的结晶度和光学性能.

• 单位
  辽宁师范大学