Ti靶微观组织对TiN涂层性能的影响

作者：穆健刚; 梁俊才; 王铁军; 赵栋梁; 张凤戈; 赵海波

来源：热加工工艺, 2018, 47(02): 208-216.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.2018.02.053

• 硬质涂层
• Ti N涂层
• 钛靶材

研究了四种不同微观组织的Ti靶,以及同一条件下在硬质合金基底上磁控溅射得到的Ti N涂层,采用SEM、EDX、XRD、纳米硬度计和原子力显微镜对涂层进行了分析。结果表明:等轴晶钛靶材的晶粒尺寸越细小,涂层中氮含量越高,涂层表面的颗粒越多,表面的粗糙度越大,涂层颗粒尺寸越大,纳米硬度越小;纳米硬度的大小与涂层的相结构关系密切;采用魏氏组织钛靶溅射得到的Ti N涂层性能最优。

• 单位
  安泰科技股份有限公司; 钢铁研究总院; 四川大学