超声辅助技术制备微结构的原理与应用概述

作者：姚栋; 岳鑫

来源：模具工业, 2022, 48(06): 56-62.

DOI：10.16787/j.cnki.1001-2168.dmi.2022.06.012

• 超声辅助技术
• 表面微结构
• 车削
• 铣削
• 磨削

根据超声辅助技术在制备微结构中的最新应用成果，介绍了超声辅助的车削、铣削、磨削3种方法制备微结构的原理和应用，对3种制备方法的原理与应用进行分析和论述，最后还介绍了1种利用超声辅助刻划制备微结构的新方法。

• 单位
  长春理工大学; 西南技术物理研究所