成型压力对GZO陶瓷靶材无压烧结致密化的影响

作者：叶林龙; 孙宜华; 方亮; 常宝成; 姜礼华; 李明明

来源：三峡大学学报(自然科学版), 2017, 39(03): 104-107.

DOI：10.13393/j.cnki.issn.1672-948X.2017.03.023

• GZO靶材
• 成型压力
• 无压烧结
• 致密化

采用模压成型-无压烧结法制备Ga掺杂量为3wt%的氧化锌陶瓷靶材(ZnO∶Ga2O3=97∶3wt%).分析研究了成型压力对靶材致密度、物相组成、微观结构及烧结收缩变化率的影响.采用X射线衍射仪分析物相组成,扫描电镜观测烧结体断口形貌,用热膨胀仪分析试样烧结收缩曲线,阿基米德排水法测量试样密度.结果表明:成型压力对GZO靶材烧结时生成ZnGa2O4的固相反应有促进作用,并且当成型压力由120MPa提高到200MPa时,固相反应生成更多的ZnGa2O4尖晶石相导致GZO陶瓷烧结致密所需的温度也有所提高.成型压力为200MPa时靶材致密度最高,相对密度达93.54%TD.

• 单位
  材料与化工学院; 三峡大学; 广西新未来信息产业股份有限公司