红外显微系统

作者：焦斌斌; 孔延梅; 程腾; 高杰; 李庆; 吴健雄

来源：2012-09-19, 中国, ZL201220024869.6.

本实用新型公开了一种红外显微系统,包括支架、载物台、目标物、可见显微相机和红外显微相机,所述目标物置于所述载物台上；所述可见显微相机和红外显微相机分别置于所述支架上并位于所述载物台上方,所述可见显微相机和红外显微相机的光轴相互平行且垂直于所述载物台上侧面,所述可见显微相机和红外显微相机能够同时相对所述载物台沿所述支架上下移动并定位,且所述可见显微相机和红外相机能够分别沿其所在的水平面内左右移动并使其镜头正对置于所述载物台上的目标物。可同时满足微器件及微结构的清晰成像及细节分析需求,又能够实现红外热分布的成像。