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摘要
本发明提供了一种具有埋入式电极的双层薄膜声表面波器件,涉及表面波器件技术领域。器件从下至上依次包括：衬底、压电薄膜、压电覆盖层；在压电薄膜内,从上表面自下设置有若干均匀分布的凹槽,且凹槽下表面与压电薄膜下表面不接触,在凹槽内嵌有叉指电极,叉指电极和凹槽高度相同；其中,叉指电极通过压电薄膜以及压电覆盖层的压电效应,完成信号的转换并以声表面波形式传播。该声表面波器件,能减小布拉格反射和声学散射,从而产生更剧烈的位移,SAW能被更有效的激发,能够有效提高叉指换能器的能量转换效率,增强机电耦合系数；同时更容易降低由于叉指电极表面和压电薄膜上表面暴露在空气中对器件特性产生的影响,降低损耗。
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