多晶硅生产装置氯硅烷渣浆连续处置技术

作者：郭辉; 杨玫; 王晓伟

来源：化工机械, 2018, 45(02): 211-214.

• 多晶硅
• 氯硅烷渣浆
• 连续处置技术

介绍了多晶硅生产副产物四氯化硅渣浆处置技术的起源和发展过程,通过对最早引入的间歇耙式处置工艺的介绍,引出桨式连续处置工艺,并通过比较突出了桨式连续处置工艺的特点和优势。

• 单位
  天华化工机械及自动化研究设计院有限公司