TiAlN涂层由于其优异的耐磨性和抗氧化性能被广泛运用于刀具车削加工以及部分模具涂层的表面。然而不同参数的TiAlN涂层性能有着较大的差异。本文通过控制沉积时间制备出了不同厚度的TiAlN涂层，并对其硬度、结合力、耐磨性能进行了研究。结果表明，沉积时间对于涂层的沉积速率较为稳定，涂层厚度对其硬度和结合力有着显著的影响。涂层硬度随着厚度的增加而增大，涂层的膜基结合力随着涂层厚度的增加而降低。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
