三氟甲烷的合成与高纯三氟甲烷的提纯工艺研究进展

作者：张旭雪; 赵文英; 袁亚文; 曹晓荣; 项曙光^*

来源：山东化工, 2022, 51(17): 72-82.

DOI：10.19319/j.cnki.issn.1008-021x.2022.17.050

• 三氟甲烷
• 高纯
• 合成
• 提纯

高纯三氟甲烷(CHF3)的合成与提纯研究对微电子行业的发展意义深远。本文介绍了CHF3的合成方法，如电解法、氯仿直接氟化法、氯仿催化氟化法、二氟一氯甲烷催化氟化法、二氟一氯甲烷催化歧化法等，并分析了各方法的优缺点;综述了高纯CHF3的提纯方法，包括精馏法、溶剂吸收法、吸附法等，单纯一种提纯方法很难使CHF3产品达到电子级标准，通过多种提纯方法的联用可制备符合要求的高纯CHF3。本文通过对CHF3的合成方法和高纯CHF3的提纯工艺进行分类分析，对高纯CHF3的生产提供参考，具有一定的实用价值和指导意义。

• 单位
  青岛科技大学; 齐鲁师范学院