摘要

介绍常见高纯气体气瓶结构类型以及在国内发展历程,高纯气体气瓶已经实现国产化。针对每种结构类型高纯气体气瓶,介绍了国内外设计制造标准、制造工艺,重点介绍了高纯气瓶在材料、后处理工艺方面的特点,内壁粗糙度Ra<0.2μm,水分含量达到(0.2~1.0)×10-6。随着高纯气体的发展,在高镍合金气瓶、后处理工艺等方面需要进一步研究,同时指出高纯气瓶测试环节制约了国内高纯气瓶发展。