大面积均匀等离子体电子密度控制系统

作者：李小平; 谢楷; 刘彦明; 刘东林; 石磊; 杨敏; 高平

来源：2012-01-11, 中国, CN201210006362.2.

本发明公开了一种大面积均匀等离子体电子密度控制系统,主要解决目前等离子体电磁波传播实验装置中电子密度不可连续调节、长时间稳定性差和控制精度低的问题。整个系统包括等离子体产生腔体(1)、诊断装置(2)、电源装置(3)、真空装置(4)和控制装置(5),控制装置(5)通过读取诊断装置(2)测得的电子密度值,与预设的电子密度值比较,并根据比较的差值输出电压或气压控制信号,调节电源装置(3)的输出功率或真空装置(4)的设定气压值,使等离子体电子密度稳定在预设值范围内。本发明利用反馈控制原理,实现了对大面积均匀等离子体中电子密度的调节与稳定,可用于进行电磁波在不同电子密度等离子体中的传播实验。

• 单位
  西安电子科技大学