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摘要
电子级磷酸作为一种超高纯化学试剂，主要用于微电子行业中芯片的清洗与蚀刻，其纯度会显著影响电子元器件的成品率、电性能以及可靠性。然而，极低杂质（ppb水平）的高端电子级磷酸，对于化工分离纯化技术的要求极高。从电子级磷酸在芯片清洗与蚀刻方面的应用出发，梳理了电子级磷酸产品的主要国内外标准，概述了杂质离子的主要分析监测方法。重点综述了电子磷酸的制备和纯化精制方法，特别是结晶法在净化磷酸深度净化方面的显著优势，最后，对电子级磷酸的净化技术发展做出了前景展望。
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单位化学工程联合国家重点实验室; 云南云天化股份有限公司; 天津大学
