针对100～200μm的微管组件微装配的要求,设计并研究了一种基于柔性铰链的新型非对称柔性压电微夹钳。通过理论计算以及有限元分析微夹钳的夹持位移、夹持力以及夹持精度。利用压电驱动作为微夹钳的输入驱动,实验结果验证了理论计算以及有限元分析的正确性。非对称柔性压电微夹钳的位移放大比为4.55,与有限元分析结果和理论计算结果相比,误差分别为4.22%和8.43%,证实了设计的有效性。
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