低氮气压下燃烧合成Al掺杂β-SiC粉体的微波介电性能

作者：苏晓磊; 周万城; 李智敏; 罗发; 朱冬梅

来源：稀有金属材料与工程, 2009, S2: 55-58.

• β-SiC粉体
• 燃烧合成
• 介电性能 β-SiC powder
• combustion synthesis
• dielectric property

以硅粉(Si)和炭黑(C)为原料、聚四氟乙烯(PTFE)为助燃剂、铝粉(Al)为掺杂源,在低压氮气气氛中通过燃烧合成的方法制备出Al掺杂β-SiC粉体。用XRD、SEM和EDS对其进行了表征,同时在频率8.2～12.4GHz范围内对其进行介电常数的测试。结果表明未掺杂Al时生成富碳β-SiC粉体;当掺杂Al时并未生成AlN-SiC固溶体,而是Al原子进入到碳化硅晶格中占据硅的位置形成了Al/SiC固溶体,引起β-SiC晶格常数的逐渐增大。当Al掺杂含量为5mol%时晶粒最小,同时出现了Al2O3杂质相,但是其介电常数实部和介电损耗达到最大值,同时对Al对β-SiC介电损耗的影响进行了讨论。

• 单位
  凝固技术国家重点实验室; 西安电子科技大学; 西安工程大学; 西北工业大学