络合剂对316L不锈钢化学机械抛光效果的影响

作者：陈国美; 杜春宽; 倪自丰^*; 卞达; 王浩; 章平; 张鑫

来源：金刚石与磨料磨具工程, 2022, 42(06): 753-759.

DOI：10.13394/j.cnki.jgszz.2022.0047

• 化学机械抛光
• 316L不锈钢
• 络合剂
• 电化学
• 芬顿反应

为提高316L不锈钢化学机械抛光（chemical-mechanical polishing,CMP）效率，针对络合剂类型对316L不锈钢加工效果的影响及影响机制进行研究。以材料去除率（material removal rate,MRR）和表面粗糙度（Ra）为指标，探究络合剂类型（甘氨酸、草酸和柠檬酸）及浓度对抛光效果的影响。利用电化学工作站、接触角测量仪和X射线光电子能谱仪（XPS）分析络合剂对316L不锈钢CMP加工影响机制。结果表明：当甘氨酸质量分数为0.2%时，能够同时获得较高的材料去除率和较低的Ra，分别为210 nm/min和1.613nm。高浓度的络合剂对316L不锈钢材料去除率的抑制作用来源于络合剂增强了316L不锈钢表面耐蚀性，降低了表面氧化速度。XPS分析表明部分甘氨酸络合物会吸附于316L不锈钢表面产生缓蚀作用。

• 单位
  无锡商业职业技术学院; 江南大学