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摘要
为获得铬（Cr）金属薄膜的光学常数，文章采用武汉颐光科技公司生产的SE-VM-L型宽光谱全穆勒矩阵椭偏仪，测量和分析了用光控自动真空镀膜机沉积在石英玻璃上得到的单层Cr金属薄膜，得到了Cr金属薄膜在200～1 700 nm宽谱上的光学常数曲线和薄膜厚度。根据Cr金属的薄膜特性及成膜特点，采用“基底/空气”模型进行拟合，建模时采用Cauchy模型和Gaussion模型，对建立的各种模型测量得到的数据进行了分析和比较。结果表明，对于厚度较薄的金属样品来说，椭偏仪无法同时解偶样品薄膜折射率N、消光系数K和样品薄膜厚度d；模拟较薄Cr纯金属薄膜时，需要导入样品的透过率T，通过拟合得到均方差为2.3，测量得到较合理的Cr金属薄膜的厚度为23.77 nm。该研究结果对Cr金属薄膜膜层设计和制备有参考价值。
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