为了研究超声波对微铸件表面形貌、微观结构及显微硬度的影响,在ITO导电玻璃上采用超声-脉冲电沉积方法制备出Ni微铸件。利用电子扫描显微镜观察微铸件的微观形貌,利用X-射线衍射分析超声波对微铸件微观结构的影响,利用纳米压痕法测试显微硬度。结果表明,超声波不仅能改善铸件微观形貌、细化晶粒,而且能提高镀层的显微硬度。