为提高顺序等效采样率,提出基于级联步进延时的顺序等效采样电路及采样方法。采用可编程延迟线、可编程延迟芯片和现场可编程门阵列(FPGA)等实现采样时钟信号步进延时。利用FPGA控制可编程延迟线和可编程延迟芯片的延时步长和总延时;利用可编程延迟线的粗延时和可编程延迟芯片的细延时相互结合,达到对采样时钟信号进行高精度、大范围的步进延时的目的,实现最小延时步长10 ps、总延时达到512 ns。该方法可以广泛应用于顺序等效采样系统。