通过分析袪PSG上料自动化的结构和工作原理，对产能的影响因素进行研究，提出提升产能的有效方法，更换摩擦系数更高的平皮带以增加横向传输硅片速度；采用U型双边上料结构以增加硅片上料速度；采用两段式纵向传送组件以节省纵向传输时间；增加横向传输组件以提高设备产能。最后对以上提升产能方式进行对比，以便于结合不同情况，采用不同方案进行设备产能提升。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
