石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究

作者：王俊杰; 车录锋; 吴浩; 王跃林

来源：传感器与微系统, 2007, (01): 41-44.

DOI：10.13873/j.1000-97872007.01.014

• MEMS加速度传感器
• 检测电路
• 分辨力
• 噪声 MEMS accelerometer
• detection circuit
• resolution
• noise

针对石油勘探的应用需求,分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源,并对不同电路结构的噪声进行了比较。根据分析结果,采取多种措施进行了改进,振动测试结果表明:传感器分辨力由原来的大于0.01m/s2提高到0.001m/s2,进一步提高了MEMS加速度传感器的性能。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院研究生院; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所