存储器用铁电薄膜及电极材料的研究

作者：刘治国; 李爱东; 吴迪; 朱信华; 闵乃本

来源：物理, 2007, (01): 20-25.

• 铁电薄膜
• 自发极化
• 导电氧化物电极
• 疲劳特性 ferroelectric thin films
• spontaneous polarization
• conductive oxide electrodes
• fatigue characteristics

铁电体独特的自发电极化双稳性质和非线性光学性质使其在光电子器件中得到广泛应用.为了实现器件的小型化和与微电子、光电子工艺兼容,铁电薄膜已成为一个研究热点.自发电极化的大小和取向以及外电场、缺陷和铁电薄膜/电极界面与自发电极化的交互作用决定了铁电薄膜的性质和服役行为.文章以铁电存储器和光电子器件应用为背景,选择了具有重大应用前景的Bi4-xLaxTi3O12(BLT)、SrBi2Ta2O9(SBT)、PbZrxTi1-xO3(PZT)和LiNbO3(LN)铁电薄膜以及相关的La(Sr,Co)O3(LSCO)和LaNiO3(LNO)等电极材料为研究对象,研究了缺陷电荷和电畴的交互作用和它们在交变外...

• 单位
  固体微结构物理国家重点实验室; 南京大学