图像尺寸测量仪校准方案的研究

作者：罗凯元; 王蜜

来源：电子产品可靠性与环境试验, 2022, S1: 61-63.

• 计量学
• 图像
• 尺寸测量
• 校准

分析了图像尺寸测量仪的工作原理与目前的应用现状，参考国家标准与相近的校准规范，对其示值误差提出了一种校准方案，经实验验证该方案可满足该仪器的校准需求。

• 单位
  工业和信息化部电子第五研究所