用于NO2传感器的NiO@C复合材料性能研究

作者：王博; 刘继江; 王烜赫; 高云鹏; 尹春岳; 马丽娜

来源：传感器与微系统, 2023, 42(03): 22-26.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)03-0022-05

• 金属—有机框架衍生碳
• 氧化镍
• 二氧化氮传感器

采用超声诱导方式合成出层状前驱体Ni-MOFs-Layer,通过前驱体在N2氛围下热解制备出NiO@C材料。通过XRD、SEM、TEM、Raman等表征方法对样品形貌、晶体结构进行表征，证明了制备的NiO@C继承了前驱体的层状结构，每层是由石墨化碳包裹NiO形成具有核壳结构的碳球堆积而成，并且NiO颗粒分布均匀。将NiO@C材料涂覆在MEMS微热板叉指电极制作成传感器测试探头用于NO2气敏性能测试。结果表明：传感器可以实现对NO2在(1～100)×10-6的宽量程检测，并且具有很好的抗湿能力和稳定性。并且验证了当气氛中存在NH3、CO、乙醇的干扰下，可以实现NO2选择性检测。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所