IPA干燥过程中影响颗粒因素的研究

作者：孙文良; 蔡万和; 盛明俊; 葛俊山

来源：中国集成电路, 2019, 28(03): 44-92.

• IPA
• 异丙醇
• 颗粒
• Marangnoi

本文是采用Mar angoni效应来实现抛光硅片的干燥过程遇到的颗粒问题,并对其影响因素进行研究。研究过程中,可以在I PA携带N2压力为15PSI,DI水慢排速率为1mm/s,慢排完毕后I PA喷雾持续时间为180S,热N2压力为10PSI的情况下,得到的干燥效果最佳。

• 单位
  杭州士兰集成电路有限公司