特种气体的提纯装置

来源：低温与特气, 2018, 36(02): 53.

• 特种气体
• 隔膜压缩机
• 分子筛柱

<正>申请(专利)号:201720760866.1公开(公告)日:2018-03-20申请(专利权)人:清远先导材料有限公司摘要:本实用新型涉及一种特种气体的提纯装置,该提纯装置包括依次通过气体管道相连的一原