本发明公开了一种面向微型工件测量的自动引导方法,利用固定在三坐标测量机基座上的两个相机针对待测工件和探针球头进行拍摄,获得左视图像和后视图像；搜索识别两相机所拍摄图像中的待测工件,将待测工件分为孔类工件、非孔类工件,计算与判断待测工件与探针球头之间的位置关系,引导探针球头沿测量机X轴、Y轴和Z轴运动,使探针球头向待测工件移动；先用通过初始引导将探针球头引导至测量位置附近,在对相机镜头变焦后再通过精确引导将探针球头引导至测量位置。
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